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NDR-4000 (M) DRIE深反应离子刻蚀
全自动控制。MFC,阀和顶盖都是气动式的,都可PC控制。系统的实时压力和直流自偏压以图表格式显示,而流量和功率则以字母数字形式显示。系统提供密码和安全连锁机制的四级权限控制。 NDR-4000(M
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NDR-4000 (A) 全自动DRIE深反应离子刻蚀
达到硅片的高深宽比刻蚀。 基于PC控制的紧凑型立柜式百级DRIE深硅刻蚀系统,拥有高纵横比的刻蚀能力;配套Lab View软件,菜单驱动,自动记录数据;触摸屏监控;全自动系统,带安全联锁;四级权限
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NRE-4000 (M) 反应离子刻蚀
极限真空5x10-7Torr,20分钟内可以达到10-6Torr级别涡轮分子泵最多支持8个MFC菜单驱动,4级密码访问保护 该系统是基于PC控制的全自动系统.具有高度的可重复性。 铝质腔体
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NRE-3500 (M) RIE反应离子刻蚀机
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NRE-3000 RIE反应离子刻蚀机
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NRE-3500 (A) 全自动RIE反应离子刻蚀机
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NRE-4000 (A) 全自动反应离子刻蚀
支持8个MFC双刻蚀能力支持:RIE以及PE刻蚀(可选) NRE-4000是一款独立式RIE反应离子刻蚀系统,是基于全自动的控制,该系统具有高度的可重复性。 铝质腔体或不锈钢腔体不锈钢立柜水冷
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伯东 Polycold MaxCool 4000 深冷泵
Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵主要技术参数:标准性能最大功率:Watts4000最大抽速(理论值):l/s327,800保守抽速:l/s220,000极限工作压力
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壁挂式挥发性有机物总烃监测仪W600
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在线VOC挥发性有机物非甲烷总烃监测仪109L
性能列表: 分析法 火焰离子检测器 灵敏度 CH4全刻度zei大可达1ppm 响应时间 90%全刻度>1s(THC),>45s(CH4,NMHC),同步选择(两个频道均为45s) 测量范围
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